1. È»ó¸éÁ¢, ´Ù : 1
2. ¹ÝµµÃ¼ ¿ë¾î (ALD, CVD ¿ë¾î ¹× °£´ÜÇÑ °ø½Ä), 15°³ ÀÌ»ó ¸¹Àº Áú¹®À» ÇßÀ½.
3. ¼®»çÁö¿øÀ̱⠶§¹®¿¡ ½ÇÇè ¹× ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ Áú¹®
4. Àμº¸éÁ¢ : »ó»ç¿ÍÀÇ °¥µî, Ä£±¸¿ÍÀÇ ¾à¼ÓÀÌ Àִµ¥ ¾ß±ÙÀÌ ÀâÈ÷¸é ¾î¶»°Ô ÇÒ °ÍÀÎÁö µî Áú¹®Çß½À´Ï´Ù.
5. ¸éÁ¢ ¾à 30ºÐ Á¤µµ ÇÑ °Í °°½À´Ï´Ù.
|